涂层测厚仪的测量方法简介

 对材料表面保护、装饰形成的覆盖层，如涂层、镀层、敷层、贴层、化学生成膜等，在

有关国家和标准中称为覆层（coating）。
      覆层厚度测量已成为加工工业、表面工程质量检测的重要一环，是产品达到优等质量标准

的*手段。为使产品化，我国出口商品和涉外项目中，对覆层厚度有了明确的要求。
      涂层厚度仪的测量方法主要有：楔切法、光截法、电解法、厚度差测量法、称重法、X射

线荧光法、β射线反向散射法、电容法、磁性测量法及涡流测量法等。这些方法中前五种是有

损检测，测量手段繁琐，速度慢，多适用于抽样检验。
     X射线和β射线法是无接触无损测量，但装置复杂昂贵，测量范围较小。因有放射源，使

用者必须遵守射线防护规范。X射线法可测极薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层

和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。
     随着技术的日益进步，特别是近年来引入微机技术后，采用磁性法和涡流法的测厚仪向微

型、智能、多功能、高精度、实用化的方向进了一步。测量的分辨率已达0.1微米，精度可达

到1%，有了大幅度的提高。它适用范围广，量程宽、操作简便且价廉，是工业和科研使用zui广

泛的测厚仪器。